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Palladium Wasserstoffreiniger - PS7-PD2 (1010 - 2170 slpm)
Palladium Wasserstoffreiniger

Anwendungsbereiche

  • LED-Fertigung
  • Siliziumkarbid (SiC) Epitaxie
  • Krystallwachstum
  • Photovoltaik
  • III/V und II/VI MOCVD
  • Polysilizium-Fertigung
  • Kohlenstoff-Nanotubes
  • LCD Display-Fertigung
  • Silicon & compound semi
  • Brennstoffzellen
Die Micro-Channel Palladium-Gasreiniger von SAES Pure Gas produzieren reinstmöglichen Wasserstoff. Im Bereich der Wasserstoffgasreinigung stellt der patentierte "Micro-Channel"-Palladiummembran-Wasserstoffreiniger die bedeutendste Innovation der letzten 20 Jahre dar. Dieser moderne Wasserstoffreiniger bietet für umfangreiche Fertigungsprozesse zwei- bis dreimal höhere Durchflusskapazitäten bei niedrigeren Betriebskosten und verbesserter Haltbarkeit. Die Wasserstoffreiniger von SAES Pure Gas garantieren einen Reinheitsgrad von "9N" (= 99.9999999%) mit < 100 ppt hinsichtlich Sauerstoff, Kohlenstoff, Stickstoff und allen anderen Verunreinigungen. Alle Palladium-Gasreiniger garantieren gleichbleibende Leistung für jede Durchflussmenge und jede Gasqualität am Einlass.
Das kompakte PS7-PD1 arbeitet mit Micro-Channel Paladium Membranen und liefert extrem reinen (UHP) Wasserstoff für Anwendungen im Semiconductorbereich. Diese kompakte Ausfertigung ist verfügbar für einen breiten Bereich von Durchflussraten und geeignet für point-of-use Gasreinigung in Prozessanlagen oder für Massengasversorgung in großen Produktionsanlagen der LED- und Semiconductorindustrie.

Arbeitsweise

Wasserstoffreinigung mittels Palladium-Osmose hat sich bei Anwendungen, wo ein PPB-Reinheitsgrad verlangt wird, als Technologie durchgesetzt. Palladium agiert als Katalysator, wodurch Wasserstoffgasmoleküle bei Kontakt mit der Membranoberfläche in Atome dissoziieren. Die Atome sind klein genug, um durch die Palladiummembran zu diffundieren, sie werden durch den Differential-Wasserstoffdruck durch die Membran hindurchgetrieben. Nach dem Membrandurchgang verbinden sich die Atome wieder zu Molekülen. Wasserstoffreiniger arbeiten bei einer Betriebstemperatur von ungefähr 400°C. Bei dieser Temperatur diffundieren Wasserstoffatome leicht durch die Membranen. Durch das Palladium diffundieren keine anderen Stoffe, so dass nur Wasserstoff als Permeat übrig bleibt.
Verunreinigungen wie H2O, O2, N2, CO2, CO, Hydrokarbonate und Edelgase verbleiben auf der Eingangsseite der Membran und werden kontinuierlich weggespült durch einen Entlüftungsanschluss. Die besonderen Eigenschaften von Palladium garantieren eine zuverlässige Barriere ohne die Gefahr von Durchbrüchen wie bei katalytischen oder Getter-basierten Reinigern, die mit chemischen Reaktionen von reaktiven Oberflächen arbeiten. Ein Stickstoff-basiertes Spülsystem ist Teil des Wasserstoffreinigers und reinigt den Gasreiniger beim Start und beim Shutdown.

Vorteile von Palladium

  • Nur Wasserstoff kommt auf der anderen Seite der Membran an
  • Ausnahmslos jede Verunreinigung wird entfernt
  • Unbegrenzte Lebensdauer - eine Technologie ohne Verbrauchsmaterialien
  • Trennt reinen Wasserstoff vom Ursprungsgas mit Verunreinigungen auf ppm oder % Level
  • Einfache Leistungsüberprüfung durch eingebauten Helium-Lecktest
     

Haupteigenschaften

  • Ultra-reiner Wasserstoff aus beliebiger Quelle
  • Hohe Durchflusskapazität bis zu 2170 slpm (140 Nm3/hr)
  • < 100 ppt O2, H2O, CO2, CO, N2, CH4, NMHC
  • Patentierte Palladium-Micro-Channel Technologie
  • Niedriger Stromverbrauch
  • Kleine Stellfläche - minimaler seitlicher und rückseitiger Zwischenraum

Modellnummer Maximale
Durchflussrate
(slpm)
Maximale
Durchflussrate
(Nm3/hr)
PS7-PD2-35 1088 70
PS7-PD2-40 1242 80
PS7-PD2-45 1398 90
PS7-PD2-50 1552 100
PS7-PD2-55 1708 110
PS7-PD2-60 1864 120
PS7-PD2-65 2020 130
PS7-PD2-70 2170 140

Palladium Wasserstoffreiniger PS7-PD05 Durchflussrate 0-50 slpm

Palladium Wasserstoffreiniger PS7-PD1 Durchflussrate 50 - 1085 slpm


© 2020 Rainer Lammertz