Gasreiniger für andere Gase

Acetylen: Umgebungstemperatur-Gasreiniger (MicroTorr Canister Gasreiniger)

Entfernung von Kohlenwasserstoffen < 1ppb
0 - 1000 slpm

Kohlenmonoxid: Umgebungstemperatur-Gasreiniger (MicroTorr Canister Gasreiniger)

Entfernung von H2O, O2, CO2, Säuren, Basen, Kohlenwasserstoffen, Refraktärwerkstoffen < 1ppb
0 - 1000 slpm

Arsine, Phosphine: Umgebungstemperatur-Gasreiniger (MicroTorr Canister Gasreiniger)

Entfernung von H2O, O2 < 1 ppb
0 - 125 slpm

Xenon, Neon, Krypton: Gasreiniger mit erhitztem Gettermaterial

Entfernung von H2O, O2, CO, CO2, H2, N2, THC < 1ppb

Xenon, Neon, Krypton: Umgebungstemperatur-Gasreiniger (MicroTorr Canister Gasreiniger)

H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC Removal < 1ppb
Also available: Acids, Bases, Refractory Compounds Removal
0 - 1000 slpm

fluorierte Gase: Gasreiniger für fluorierte Gase

[C2F6, C2H6, C3F8, C3H8, C2F4H2, C4F8, C4H10, CCl4, CF4, CH4, CHF3, SF6 ]
Entfernung von H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC < 1ppb
0 - 1,000 slpm

ätzende Gase: Spezialgasreiniger für ätzende Gase

[B2H6, BCl3, CClH3, Cl2, CO2, GeCl4, GeH4, H2S, H2Se, HBr, HCl, N2O, NF3, NO, SiCl4, SiF4, SiH2Cl2, SiHCl3, SO2, CHClF2, BF3 ]
Entfernung von H2O < 1ppb
0 - 500 slpm

Schweißgas (0-75 slpm): Umgebungstemperatur-Gasreiniger für Schweißgas- und Spülgasreinigung (FaciliTorr)

Entfernung von H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC < 1ppb
Kanister mit Wandbefestigung (FaciliTorr)

Schweißgas (75+ slpm): PS14 Gastrockner und Gasreiniger bei Umgebungstemperatur

Entfernung von H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC < 1ppb
Floor mounted column in a frame (PS14 MegaTorr)

NMHC = Nichtmethankohlenwasserstoffe C5-C30
THC = alle Kohlenwasserstoffe C1-C30

 
© 2020 Rainer Lammertz